钝化工程提升 β-Ga₂O₃ 深紫外光电探测器的光电检测性能
这项工作部分受国家重点研发计划(项目编号:2022YFB3605404)资助,部分受国家自然科学基金(项目编号:62304113)资助。
这项工作部分受国家重点研发计划(项目编号:2022YFB3605404)资助,部分受国家自然科学基金(项目编号:62304113)资助。
近日,南京邮电大学唐为华教授、内蒙古大学刘增教授和南京理工大学张章博士等人在Science China Materials发表论文,采用简单的等离子体增强化学气相沉积技术,制备了一系列锡元素掺杂的氧化镓薄膜(Sn:Ga=0–1.14 at.%)。